Propriétés ferroélectriques d'oxydes pérovskites 2D |
Participants: Luc BROHAN (CR), Mireille RICHARD (CR) |
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Description du thème: |
Le composé ferroélectrique, Bi3.25La0.75Ti3O12 (BLT), est un matériau d'avenir pour les mémoires non volatiles telles que les cartes de crédit (fig.1), en raison de sa forte polarisation spontanée et de sa bonne résistance à la fatigue en contact sur des électrodes de Pt (fig.2). Au cours de ces dix dernières années, les mémoires FERAM (" ferroelectric random access memory ") ont fait l'objet d'une attention particulière pour leurs propriétés de non volatilité, leur faible puissance de consommation, leur vitesse d'accès rapide, et leur faible coût. A côté des titano-zirconates de plomb (PZT), un effort de plus en plus important s'est récemment porté sur les couches minces ferroélectriques obtenues à partir de composés appartenant à la famille des " phases Aurivillius ", en particulier SrBi2Ta2O9 (SBT) et (Bi,La)4Ti3O12 (BLTx), en raison de leur excellente résistance à la fatigue. Avec une polarisation rémanente plus élevée et une température d'élaboration plus basse, notre choix s'est porté sur l'étude de la solution solide BLTx dont certains membres apparaissent plus prometteurs que SBT pour une intégration dans la technologie standard au silicium (fig.3).
 

Le travail réalisé lors de la thèse de Ming Wen CHU, avait pour objectifs de pallier le manque de connaissances de base concernant la structure cristalline exacte de BLT0.75 et l'origine de son comportement " sans fatigue ", et de mieux comprendre les différences de comportement de dispositifs à mémoire ferroélectrique FRAM utilisant les oxydes Bi4Ti3O12 (BTO) et Bi3.25La0.75Ti3O12 (BLT0.75) de structure Aurivillius et des électrodes en platine. Ces différences sont associées au phénomène de la " fatigue " qui se manifeste par une diminution de la polarisation rémanente globale, en fonction du nombre de commutations électriques. Afin d'atteindre ces objectifs, nous avons procédé à une étude systématique de la solution solide Bi4-xLaxTi3O12 (BLTx, x = 0, 0.5, 0.75, 1.0, 1.5, and 2.0) par spectroscopie de photoélectrons (XPS) et microscopie électronique (MET). L'étude XPS révèle l'existence d'une région riche en Bi à la surface du matériau, puis d'une zone enrichie en La tandis que la composition chimique du coeur des cristallites possède la stoechiométrie Bi3.25La0.75Ti3O12. L'étude par microscopie électronique haute résolution de Bi3.25La0.75Ti3O12 confirme les observations précédentes et indique la présence de défauts d'intercroissance sur une épaisseur voisine de 5 nm en bordure des cristaux (fig.4). Des défauts identiques sont observés pour les compositions avec x = 1.0 et 2.0, alors qu'ils sont absents dans Bi4Ti3O12 (x = 0) qui présente par ailleurs une faible résistance à la fatigue.
Comme dans les perovskites tridimensionnelles, la polarisation résulte du fait que les barycentres des charges positives et négatives ne coïncident pas générant ainsi des moments électriques dipolaires. Par contre, d’un point de vue structural, les blocs perovskites sont ici constitués de 3 feuillets (ABO3) en alternance, selon c, avec des feuillets fluorine de formulation Bi2O22- (figure 4). |

Figure 1: Image de MEHR d'un cristal de Bi3.25La0.75Ti3O12 (BLT0.75) d'axe de zone [001] : mise en évidence de défauts d'intercroissance en bordure des cristaux. |

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| Objectifs : |

Structure Cristalline de Bi4Ti3O12 projetée selon l’axe [0 -1 0]  |
Réalisation de dépôts par des méthodes physiques, de manière à valider le modèle de résistance à la fatigue, élaboré pour les poudres. Optimisation des propriétés ferroélectriques (augmentation de la polarisation rémanente) par un contrôle de la croissance des couches ferroélectriques selon [100].
- PVD, pulvérisation cathodique en condition diode ou assistée par plasma au LPCM-IMN, dans l’équipe d’Abdou Djouadi.
- PLD ou ablation laser, Centre de développement des technologies avancées (CDTA) Division milieux ionisés & lasers. Equipe plasmas de décharge à Alger par Hania Djani-Aitaissa et LCSIM, Rennes en collaboration avec Maryline Guilloux-Viry, Stéphanie Députier et André Perrin.
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| Synthèse des cibles |




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- procédés sol-gel ou précipitation des hydroxydes, par NH4OH
- recuit des réactifs à 600°C
- frittage :
* sous O2 à 950°C pendant 12h et obtention d’une cible de compacité apparente égale à 80%, de 3,5 cm de diamètre utilisable pour l’ablation laser.
* frittage flash (SPS pour spark plasma sintering), au CIRIMAT,Toulouse par Claude Estournes. Dans ces conditions, il a été possible d’obtenir une cible de densité égale à la densité théorique, utilisée pour réaliser des dépôts par pulvérisation cathodique radio-fréquence.
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Les dépôts de BLT par ablation laser ont été réalisés à haute température et permettent d’obtenir des films orientés, sur des électrodes de Pt. |

L’utilisation de la pulvérisation cathodique permet de faire varier la composition des films obtenus à partir d’une même cible en ajustant différents paramètres : pression de gaz dans l’enceinte, puissance. Dans un premier temps, les dépôts ont été obtenus en condition diode puis en condition assistée par plasma. Les dépôts obtenus sont polycristallins et présentent des réponses ferroélectriques originales dont l’interprétation est encore en cours. |
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Influence de la microstructure sur les propriétés ferroélectriques de Bi4-xLaxTi3O12 (0<x<2) : interprétation de la fatigue via le scénario de l’interface. Ming Wen CHU – 27 Sep. 2002.
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- Centre de développement des technologies avancées (CDTA) Division milieux ionisés & lasers. Equipe plasmas de décharge à Alger par Hania Djani-Aitaissa et
- LCSIM, Rennes Maryline Guilloux-Viry, Stéphanie Députier et André Perrin.
- CIRIMAT,Toulouse Claude Estournes.
- IREENA, Harmut Gundel.
- Plasmas Couches Minces (IMN), MP Besland, PRJ Barroy, S Lafane, PY Tessier, B Angleraud, MA Djouadi.
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1. Synthesis and Structural Characterization of the New Defect Pyrochlore Nd1.68Ti2O6.52
M.-W. CHU, M. CALDES, O. JOUBERT, M. GANNE, Y. PIFFARD and L. BROHAN,
Solid State Sciences, 4, p. 167-173 (2002).
2. X-ray Photoelectron Spectroscopy and High Resolution Electron Microscopy Studies of Aurivillius Compounds : Bi4-xLaxTi3O12 (x=0, 0.5, 0.75, 1.0, 1.5, and 2.0).
M.W. CHU, M. GANNE, M.T. CALDES and L. BROHAN.
Journal of Applied Physics. Vol. 91, N°5, p. 3178-3187 (2002).
3. Evidence for Pt-Ferroelectrics Interface Scenario of Different Fatigue Behaviors Between Bi4Ti3O12 and Bi3.25La0.75Ti3O12 Thin Film Capacitors.
M.-W. CHU, M. GANNE, P.-Y. TESSIER, D. EON, M. T. CALDES, and L. BROHAN.
Materials Science in Semiconductor Processing, 5, 179-182 (2003).
4. Using CBED and Crystallographic image processing to evidence a structural distorsion in a new family of ionic conductor Sr 1-x La 1+x Al 1-x MgxO4 phases: a new K2NiF4 type structure.
A. MAGREZ, J.P. MORNIROLI, M. CALDES, A.M. MARIE, O. JOUBERT and L. BROHAN,
Journal of solid state chemistry, vol. 172(2), 243-251 (2003).
5. Evidence for a Monoclinic Distortion in the Ferroelectric Aurivillius Phase: Bi3LaTi3O12
M.-W. CHU, M. T. CALDES, Y. PIFFARD, A.-M. MARIE, E. GAUTIER, O. JOUBERT,
M. GANNE and L. BROHAN,
Journal of solid state chemistry, vol. 172(2), 389-395 (2003).
6. X-ray Photoemission Spectroscopy characterization of the electrode-ferroelectric interfaces in Pt/Bi4Ti3O12/Pt and Pt/Bi3.25La0.75Ti3O12/Pt capacitors : Possible influence of defect structure on fatigue properties.
M.-W. CHU, M. GANNE, M. T. CALDES, E. GAUTIER and L. BROHAN,
Physical Review B, 68, 014102-1 (2003).
7. Bulk and Surface Structures of the Aurivillius Phases : Bi4-xLaxTi3O12 (0 < x < 2.00)
M.-W. CHU, M. T. CALDES, L. BROHAN, M. GANNE, A.-M. MARIE, O. JOUBERT
and Y. PIFFARD
Chemical Materials, 16, 31-42 (2004).
8. MP Besland, H. Djani-ait Aissa, PRJ Barroy, S Lafane, PY Tessier, B Angleraud, M Richard-Plouet, L Brohan, MA Djouadi. Thin Solid Films, 495, (2006), 86-91 |
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