L’activité de recherche de l'équipe Plasmas Couches Minces concerne l'étude des procédés plasmas basse pression (10-3 à qq 10-2 mbar) pour la synthèse (par PECVD, pulvérisation magnétron…) et la gravure de matériaux en couches minces ou nanostructurés, destinés à être intégrés dans des dispositifs micro opto électroniques ou des microcapteurs (biologiques, thermiques…).
Cette activité se décline en cinq thématiques de recherche, allant d’études « amont » sur la synthèse ou le dépôt de matériaux nouveaux ou à propriété spécifique jusqu’à la mise en forme de ces matériaux (aux échelles micrométriques et nanométriques) pour aboutir à la réalisation de dispositifs. Ces derniers sont réalisés en collaboration avec des équipes de recherches dont le domaine d’activité et les moyens technologiques (salle blanche) concernent la réalisation de micro nano dispositifs.
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