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SUMMARY:Journées des Doctorants - JDD 2026
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SUMMARY:Séminaire Christophe VALLEE
DESCRIPTION:Jeudi 9 avril à 13h30 - Amphi IMN \n \nChristophe VALLEE \nUniversity at Albany\, CNSE\, USA \n  \nMore than 50 years of plasma etching innovation: from RIE to ALE… and what’s next?\n  \nAbstract \nIn 1974\, in their paper entitled « RF sputter-etching by fluoro-hloro-hydrocarbon gases »\, N. Hosokawa et al. proposed to combine energetic ions with volatile products for plasma etching [1]. They came up with the idea of replacing argon with fluoro-chloro-hydrocarbon gases in rf diode sputtering equipment. They observed very high sputter-etching speeds\, 10 to 20 times higher than those normally encountered with Si or Al. This marked the beginning of plasma etching combining ions and radicals\, Reactive Ion Etching (RIE). \nWith this presentation I will discuss the following 50 years of work that followed the pioneer work of Hosokawa et al\, in understanding\, designing and optimizing plasma etching processes and reactors. I will show how plasma etching was modified to enable the transistor scaling areas: geometrical scaling (1975-2002)\, equivalent scaling (2003-2024)\, and 3D power scaling with transition to complete vertical structures (2025-…). The first scaling area saw the emergence of new reactors enabling the decoupling of flow and energy. The second was accomplished thanks to the transition from continuous flow processes to pulsed processes (pulsed plasma etching\, Atomic Layer Etching). As we enter the third scaling area\, selectivity will become predominant and temperature control will be a key parameter for the plasma etching processes\, as illustrated by the recent development of cryogenic etching. Finally\, future challenges for etching processes to meet sustainability and environmental concerns will also be addressed. \nHaving completed my thesis at IMN\, I will take a little time at the beginning of my presentation to explain my career path since my thesis and what my current research activity is at CNSE.
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SUMMARY:Séminaire Jeudis de la Chimie du Solide - Julien Varignon (CRISMAT Caen)
DESCRIPTION:Jeudi 9 avril à 13h30 en visioconférence\n \nJulien Varignon \nLaboratoire CRISMAT\, CNRS UMR 6508\, ENSICAEN\, Normandie Université \n\nLes ordres de charges et d’orbitales comme moteur de la supraconductivité dans les oxydes complexes\n  \nRésumé : La supraconductivité\, caractérisée par une résistance électrique nulle et l’expulsion du champ magnétique\, reste limitée par des températures critiques Tc relativement modestes\, atteignant au mieux 135 K dans les cuprates à pression ambiante. Dans les oxydes complexes\, comprendre les mécanismes permettant d’augmenter Tc constitue un enjeu majeur\, en particulier du point de vue de la chimie électronique et structurale. \nLes oxydes dérivés des phases de type Ruddlesden-Popper An+1BnO3n+1 jouent un rôle central dans cette problématique. Dans ces systèmes\, la supraconductivité apparaît fréquemment à proximité d’une transition entre une phase isolante et une phase métallique. Cette transition est souvent associée à la disparition d’ordres électroniques tels que les ordres de charges (dismutation cationique) ou d’orbitales\, fréquemment liés à des instabilités structurales de type Jahn-Teller. \nDans ce séminaire\, je montre\, à partir de simulations de premiers principes basées sur la théorie de la fonctionnelle de la densité (DFT)\, que la supraconductivité émerge systématiquement à proximité de ces phases ordonnées. Même si ces ordres disparaissent dans la phase métallique\, leurs fluctuations persistent et génèrent un couplage électron-phonon suffisant pour initier la supraconductivité. \nCes résultats suggèrent ainsi que les phases isolantes ordonnées et supraconductrices partagent une origine commune1\,2. Enfin\, je mets en évidence que les distorsions structurales des réseaux d’octaèdres O6\, comme les rotations\, permettent de moduler ce couplage électron-phonon. Ceci ouvre la voie à une stratégie d’ingénierie structurale des oxydes pour optimiser Tc. \n______________________ \n1. J. Varignon\, M. Bibes\, and A. Zunger\, Nat. Comm. 10\, 1658 (2019)\n2. A. A. Carrasco-Alvarez\, S. Petit\, W. Prellier\, M. Bibes\, and J. Varignon\, Nat. Comm. 16\, 1458 (2025) \n  \nhttps://univ-nantes-fr.zoom.us/j/88146334543?pwd=8GL4UQasDKOmY9g5XmabSbPm0nDZx7.1\nID de réunion: 881 4633 4543\nCode secret: 468276
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