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Nanocomposite par procédé hybride PECVD et Chimie en solution

Antoine Goullet, Agnès Granier, Mireille Richard-Plouet , Doctorants : Simon Chouteau [2020-2023],

Doctorants ayant soutenu : Maria Mitronika (2020)

NANOOBJETS ET NANOMATERIAUX Nanocomposite par procd hybride PECVD et Chimie Mireille

La synergie des compétences "Chimie douce" et PECVD (lien vers page PECVD de Couches minces) a permis de mettre au point et optimiser
un procédé innovant hybride : consistant à injecter une solution colloïdale dans un plasma basse pression. L'utilisation de plasma basse pression permet, par rapport aux approches développées à la pression atmosphérique, de mieux contrôler et moduler le transfert énergétique aux espèces actives (radicaux et ions) du plasma.

D’autre part, notre spécificité consiste à utiliser des solutions colloïdales de nanoparticules, NPs, (lien vers lpage Dépôt d'oxydes de métaux de transition par voie chimique dans Couches minces) préparées au laboratoire, stables dans des solvants organiques choisis, pour produire des films minces nanocomposites (NCs) formés de NPs dispersées dans une matrice.
Ces matériaux à indice optique et à constante diélectrique accordables sont de bons candidats pour le développement de dispositifs optiques et électriques passifs intégrés.

Mots-clés            Physique des plasmas basse pression, Procédé PECVD et couplage avec la chimie en solution, Diagnostics plasmas,Interactions plasma-surface
Expertises          PECVD, Chimie en solution, Ellipsométrie
Collaborations   LAPLACE (Toulouse), Université de Montréal (Canada), CEITEC (République tchèque)

Pour en savoir plus     Nanocomposite par procédé hybride       Effet du traitement plasma sur NPs de TiO2            Mesures électriques locales

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