Nanocomposite par procédé hybride PECVD et Chimie en solution
Marie-Paule Besland, Antoine Goullet, Agnès Granier, Mireille Richard-Plouet , Doctorants : Sarah Hekking |2023-2026], Simon Chouteau [2020-2023], Julien Chevet [2021-2024]
Doctorants ayant soutenu : Maria Mitronika (2020)
La synergie des compétences "Chimie douce" et PECVD (lien vers page PECVD de Couches minces) a permis de mettre au point et optimiser
un procédé innovant hybride : consistant à injecter une solution colloïdale dans un plasma basse pression. L'utilisation de plasma basse pression permet, par rapport aux approches développées à la pression atmosphérique, de mieux contrôler et moduler le transfert énergétique aux espèces actives (radicaux et ions) du plasma.
D’autre part, notre spécificité consiste à utiliser des solutions colloïdales de nanoparticules, NPs, (lien vers lpage Dépôt d'oxydes de métaux de transition par voie chimique dans Couches minces) préparées au laboratoire, stables dans des solvants organiques choisis, pour produire des films minces nanocomposites (NCs) formés de NPs dispersées dans une matrice.
Ces matériaux à indice optique et à constante diélectrique accordables sont de bons candidats pour le développement de dispositifs optiques et électriques passifs intégrés.
Mots-clés Physique des plasmas basse pression, Procédé PECVD et couplage avec la chimie en solution, Diagnostics plasmas,Interactions plasma-surface
Expertises PECVD, Chimie en solution, Ellipsométrie
Collaborations LAPLACE (Toulouse), Université de Montréal (Canada), CEITEC (République tchèque)
Pour en savoir plus Nanocomposite par procédé hybride Effet du traitement plasma sur NPs de TiO2 Mesures électriques locales