Réacteur plasma Nextral
Il s’agit d’un réacteur commercial Nextral NE810 que nous avons modifié. Le système d’origine d’excitation du plasma par micro-ondes a été remplacé par une excitation RF (13,56 MHz – 600 W max) à couplage inductif au moyen d’une antenne circulaire à un tour autour du tube de quartz. Le porte-substrat est polarisable en RF (13,56 MHz – 300 W max) (voir photo ci-dessous) . Le porte-échantillon accepte des échantillons jusqu’à 4” de diamètre.
Les diagnostics des plasmas par sondes électrostatiques et spectrométrie d’émission optique peuvent être installés sur ce réacteur.
Ce réacteur est dédié aux études et procédés de gravure en plasma chloré, Cl2 pur ou en mélange avec H2, Ar, ou N2.
Réacteur « Nextral »