Présentation de l'équipe

L'équipe Plasmas et Couches Minces mène des recherches axées sur le développement de procédés plasmas froids pour la gravure et le dépôt de couches minces et de nanomatériaux. Les recherches effectuées concernent une large palette de secteurs :

• microélectronique,
• micro- et nano-technologie,
• photonique,
• opto-électronique,
• capteurs,
• énergie,
• revêtements et traitements de surface.

Les projets de recherche concernent l’étude fine des mécanismes d’interaction plasmas/surface, la mise au point de nouveaux procédés plasmas, la mise en œuvre de modélisation en appui de l’activité expérimentale et l’optimisation de la synthèse d’un matériau à propriété donnée jusqu’à sa mise en forme et son intégration dans un dispositif. Pour ces deux derniers points, l’équipe collabore avec des partenaires extérieurs à l’IMN qui disposent des moyens technologiques de microfabrication. L’équipe est structurée autour trois axes de recherche intégrant plusieurs projets.