ETTOURI Rim

Position: Enseignante-chercheure équipe PCM

Categories: ENSEIGNANT-CHERCHEUR, EQUIPE PCM

Maître de Conférences

Fonctions :

2023–présent : Maître de conférences, IMN – Nantes Université (groupe PCM)
2022–2023 : Attachée Temporaire d’Enseignement et de Recherche (ATER), GREMI – Université d’Orléans
2022 : Chercheuse postdoctorale, GREMI – Université d’Orléans
2019-2022 : Doctorante CIFRE / Ingénieure en microsystèmes, MISTIC SAS – Orléans

Qualifications :

2022 : Doctorat en Physique des plasmas, Université d’Orléans (GREMI / MISTIC SAS) Titre : Gravure du titane à fort rapport d’aspect pour innovations biomédicales
2019 : Master Recherche (Microélectronique et Nanoélectronique), Aix-Marseille Université
2018 : Diplôme d’ingénieur, Mines Saint-Étienne, spécialité dispositifs nanoélectroniques

Expertises :

Gravure plasma (RIE, DRIE, ALE)
Modélisation multi-échelle des procédés plasmas
Plasma HiPIMS, PECVD, Bosch, cryogénique
Caractérisation plasma (Langmuir, RFEA, OES), surface (XPS, DRX, AFM, SEM…)
Microfabrication en salle blanche, structuration du titane

Principales thématiques de recherche :

Gravure plasma du titane pour les MEMS (aspect ratio >10)
Développement de procédés plasma innovants (fluorés, chlorés, mixtes)
Simulation des interactions plasma-surface (Monte Carlo)
Modélisation et IA pour l’optimisation des procédés plasma

Projets de recherche en cours :

Modélisation HiPIMS (doctorat co-encadré, début 2024)
FAISTOS 2025 (coll. Valeria Borodin – STMicroelectronics Tours – Gravure Bosch)
Projet PULSAR (région Pays de la Loire – en cours d’évaluation)

Activités dans la communauté de recherche :

Membre du copil du GDR EMILI
Membre du CA de la Société Française de Physique – section Centre
Membre des comités d’organisation :
2025 : COFMER
2024 : RAFALD
2023 : PlaCEP
2022 : J²C, PlaCEP, SFµ Junior

Biographie

Français :

Rim Ettouri est maître de conférences à l’Institut des Matériaux de Nantes (IMN), au sein du groupe Plasma et Couches Minces (PCM). Elle enseigne également au Département de Physique (mention « Électronique, Énergie Électrique et Automatique » - EEA) de l’UFR Sciences et Techniques de Nantes Université. Ses recherches portent principalement sur la modélisation multi-échelle des procédés plasmas basse pression, en particulier pour les procédés de gravure et de dépôt utilisés en micro et nanotechnologies. Elle développe des approches combinant simulations Monte Carlo, modélisation du plasma, et des surfaces, avec une intégration progressive de l’intelligence artificielle (IA) pour optimiser la prédiction et l’efficacité des procédés.

Titulaire d’un doctorat en physique obtenu en 2022 à l’Université d’Orléans, elle a travaillé sur la gravure plasma du titane pour les MEMS biomédicaux, en partenariat avec la startup MISTIC SAS. Elle a ensuite poursuivi ses travaux au GREMI avant de rejoindre l’IMN. En 2024, elle effectue un séjour scientifique au sein du groupe du Professeur Mark Kushner (Université du Michigan) spécialisé en modélisation des plasmas.

Elle est membre du comité de pilotage du GDR EMILI, active dans la communauté des plasmas froids, et s’investit également dans la médiation scientifique.

English

Rim Ettouri is an Assistant Professor at the Institut des Matériaux de Nantes (IMN), within the Plasma and Thin Films (PCM) group. She also teaches in the Department of Physics (Electronics, Electrical Energy and Automation - EEA) at Nantes University, Faculty of Science and Technology. Her research focuses on multi-scale modeling of low-pressure plasma processes for etching and deposition, with a strong interest in coupling simulation tools with experimental validation and artificial intelligence.

She earned her PhD in 2022 from the University of Orléans (GREMI / MISTIC SAS), where she developed deep etching processes for titanium-based biomedical MEMS. Following a postdoctoral fellowship, she joined IMN in 2023. Her current work involves plasma, sheath, and surface modeling, as well as Monte Carlo simulations for complex 3D structures. In 2024, she conducted a scientific stay in the group of Professor Mark Kushner (University of Michigan), a leading expert in plasma modeling.

Rim is a member of the GDR EMILI steering committee, actively participates in the cold plasma network, and is engaged in both teaching and scientific outreach.