GRANIER Agnès
Directrice de Recherche
Fonctions :
Directrice de recherche CNRS (DR1) à l’IMN (80%) et Déléguée scientifique » plasmas » à CNRS Ingénierie (20%)
Expertises :
Procédés plasmas froids basse pression, dépôt de couches minces par PECVD à partir de précurseurs organométalliques, diagnostics des plasmas (OES, sonde de Langmuir, spectrométrie de masse).
Principales thématiques de recherche :
- dépôt de couches minces à propriétés diélectriques, optiques, photocatalytiques, barrière (SiO2, SiOCH, TiO2) par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD)
- dépôt de couches minces nanocomposites multifonctionnelles par injection de solutions colloidales dans un plasma basse pression (TiO2:SiO2, ZnO:SiO2…)
- étude des mécanismes d’interactions plasma/surface
- étude globale des procédés plasmas de synthèse de nanomatériaux et dépôt de couches minces
Projets de recherche en cours :
- Dépôt de couches minces nanocomposites en plasma brumeux, par procédé hybride : injection d’une solution colloidale dans un plasma basse pression.
- Couches minces nanocomposites formées de nanoparticules d’oxyde de fer dans une matrice de TiO2 (en collaboration avec UdM, Montréal)
- Couches minces nanocomposites formées de nanoparticules de TiO2 dans une matrice de SiO2, propriétés diélectriques (projet ANR ADN, 2025-2028)
Activités dans la communauté de recherche :
- Membre du CA de la Société Française du Vide
- Membre du réseau Plasmas Froids et du GDR EMILI
Biographie
- 2013-2021 : Directrice adjointe de l’IMN
- 2017-2020 : Membre du Comité d’évaluation CE08 de l’Agence Nationale de la Recherche
- 2012-2016 : Membre nommée du Comité National de la Recherche Scientifique, section10
- 2005-2012 : Responsable de l’équipe Plasmas et Couches Minces de l’IMN (25-30 personnes)
- 2012-2015 : Membre du Conseil de l’Ecole Doctorale 3MPL (Molécules, Matières et Matériaux en Pays de Loire)
- 2008-2011 : Membre du Comité d’évaluation de l’ANR non thématique (CSD2 puis SIMI9)
- 2004-2006 : Animatrice du Réseau Plasmas Froids de la MRCT (CNRS) (400 membres)
- 2001-2003 : Chargée de mission au Département SPI (Sciences pour l’Ingénieur) du CNRS
- 1998-2005 : Responsable de l’équipe PECVD du Laboratoire Plasmas Couches Minces de l’IMN
- 1994-1997 : Directrice du GDR « Procédés de dépôt de couches minces à partir de plasmas d’organosiliciés«
- 1986-1992 : Chargée de recherche (CR2 de 1986 à 1990, puis CR1) au Laboratoire de Physique des Gaz et des Plasmas (Orsay)

