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Maître de Conférences

Fonctions :

• 2023–présent : Maître de conférences, IMN – Nantes Université (groupe PCM)
• 2022–2023 : Attachée Temporaire d’Enseignement et de Recherche (ATER), GREMI – Université d’Orléans
• 2022 : Chercheuse postdoctorale, GREMI – Université d’Orléans
• 2019-2022 : Doctorante CIFRE / Ingénieure en microsystèmes, MISTIC SAS – Orléans

Qualifications :

• 2022 : Doctorat en Physique des plasmas, Université d’Orléans (GREMI / MISTIC SAS) Titre : Gravure du titane à fort rapport d’aspect pour innovations biomédicales
• 2019 : Master Recherche (Microélectronique et Nanoélectronique), Aix-Marseille Université
• 2018 : Diplôme d’ingénieur, Mines Saint-Étienne, spécialité dispositifs nanoélectroniques

Expertises :

• Gravure plasma (RIE, DRIE, ALE)
• Modélisation multi-échelle des procédés plasmas
• Plasma HiPIMS, PECVD, Bosch, cryogénique
• Caractérisation plasma (Langmuir, RFEA, OES), surface (XPS, DRX, AFM, SEM…)
• Microfabrication en salle blanche, structuration du titane

Principales thématiques de recherche :

• Gravure plasma du titane pour les MEMS (aspect ratio >10)
• Développement de procédés plasma innovants (fluorés, chlorés, mixtes)
• Simulation des interactions plasma-surface (Monte Carlo)
• Modélisation et IA pour l’optimisation des procédés plasma

Projets de recherche en cours :

• Modélisation HiPIMS (doctorat co-encadré, début 2024)
• FAISTOS 2025 (coll. Valeria Borodin – STMicroelectronics Tours – Gravure Bosch)
• Projet PULSAR (région Pays de la Loire – en cours d’évaluation)

Activités dans la communauté de recherche :

• Membre du copil du GDR EMILI
• Membre du CA de la Société Française de Physique – section Centre
• Membre des comités d’organisation :
• 2025 : COFMER
• 2024 : RAFALD
• 2023 : PlaCEP
• 2022 : J²C, PlaCEP, SFµ Junior

Biographie

Français :

Rim Ettouri est maître de conférences à l’Institut des Matériaux de Nantes (IMN), au sein du groupe Plasma et Couches Minces (PCM). Elle enseigne également au Département de Physique (mention « Électronique, Énergie Électrique et Automatique » - EEA) de l’UFR Sciences et Techniques de Nantes Université. Ses recherches portent principalement sur la modélisation multi-échelle des procédés plasmas basse pression, en particulier pour les procédés de gravure et de dépôt utilisés en micro et nanotechnologies. Elle développe des approches combinant simulations Monte Carlo, modélisation du plasma, et des surfaces, avec une intégration progressive de l’intelligence artificielle (IA) pour optimiser la prédiction et l’efficacité des procédés.

Titulaire d’un doctorat en physique obtenu en 2022 à l’Université d’Orléans, elle a travaillé sur la gravure plasma du titane pour les MEMS biomédicaux, en partenariat avec la startup MISTIC SAS. Elle a ensuite poursuivi ses travaux au GREMI avant de rejoindre l’IMN. En 2024, elle effectue un séjour scientifique au sein du groupe du Professeur Mark Kushner (Université du Michigan) spécialisé en modélisation des plasmas.

Elle est membre du comité de pilotage du GDR EMILI, active dans la communauté des plasmas froids, et s’investit également dans la médiation scientifique.

English

Rim Ettouri is an Assistant Professor at the Institut des Matériaux de Nantes (IMN), within the Plasma and Thin Films (PCM) group. She also teaches in the Department of Physics (Electronics, Electrical Energy and Automation - EEA) at Nantes University, Faculty of Science and Technology. Her research focuses on multi-scale modeling of low-pressure plasma processes for etching and deposition, with a strong interest in coupling simulation tools with experimental validation and artificial intelligence.

She earned her PhD in 2022 from the University of Orléans (GREMI / MISTIC SAS), where she developed deep etching processes for titanium-based biomedical MEMS. Following a postdoctoral fellowship, she joined IMN in 2023. Her current work involves plasma, sheath, and surface modeling, as well as Monte Carlo simulations for complex 3D structures. In 2024, she conducted a scientific stay in the group of Professor Mark Kushner (University of Michigan), a leading expert in plasma modeling.

Rim is a member of the GDR EMILI steering committee, actively participates in the cold plasma network, and is engaged in both teaching and scientific outreach.

Directeur de Recherche CNRS

Fonctions:

• Directeur de Recherche, co-chef d’equipe PMN
• CNRS Research Director
• Joint Group head of the PMN Group
• Visiting Professor, Toyo University, Japan
• Editor Journal « Carbon »

Qualifications:

• PhD Computational Physics, Exeter University (1997)
• Habilitation à diriger la recherche, Nantes University (2011)

Expertises:

Carbon Science, DFT Modelling, Defects, Materials Physics and Chemistry, Science Communication

Major research topics:

• Dislocations and point defects in graphite and 2D carbon Materials
• Fullerene Science (formation, functionalisation, supramolecular structure formation)
• Nanodiamond Modelling
• Functionalisation and topology of novel nanomaterials
• Science Communication tools and techniques (virtual, physical)

Biography:

Chris Ewels graduated from Oxford University in 1993 in “Metallurgy and the Science of Materials”. After a Ph.D. in 1997 from the University of Exeter UK, for computational studies of oxygen defects in silicon, he moved to Sussex University where he worked on radiation induced defects in graphite and carbon nanosystems.  At Sussex he joined the Vega Science Trust with Sir Harry Kroto, where he created an online science TV channel and developed a passion for public communication of science.  In Paris he worked at the national aerospace research facilities ONERA, and was then a Marie Curie Individual Research Fellow at the Université Paris Sud within the electron microscopy group of Professor Christian Colliex.  In 2006 he received the European Marie Curie Excellence Award and in the same year jointed the CNRS at the Institute of Materials in Nantes, becoming Directeur de Recherche in 2015.  His work focuses on computer modelling of nanoscale carbons in close collaboration with experimental colleagues. He has authored over 200 journal publications including nine book chapters, and is on the Stanford University list top 2% most cited active scientists.  His interest in science communication continues, with Web videos he has commissioned and produced now viewed over 1.5 million times.  He is now joint head of the Physics of Materials and Nanostructures group at the IMN, coordinating nanocarbon initiatives at the local, regional, national and European level.

Research projects:

« Current Research Projects (2026) »

• Participant ANR CADENA (« Fluorinated nanodiamonds for catalysis »)
• Coordinator ANR DISLOCARBON (« Dislocations in layered carbon nanomaterials »)
• Core-Group Committee, COST Nanospace (« Carbon molecular nanostructures in space »)
• Regional Project LUMOMAT « RunningRings »
• Regional Project « Trajectoire Nationale »

Teaching:

• M2 E-MAT  « Nanocarbon and 2D Materials »
• M2 E-MAT « Machine Learning Approaches »

Distinction:

• European Carbon Association (ECA) Award (2025)
• British Carbon Group Ubbelohde Award Lecture for Carbon Science (2014)
• European Union Marie Curie Excellence Award (2006)
• Fonds International Wernaers award pour diffusion des connaissances (2008)
• CineGlobe Public Award for best science documentary (2010)

Publications:

• 1. ‘CO adsorption on pure, defective and mixed composition AlF3 and MgF2 surfaces’
  A. Impellizzeri, J. Dieu, J. Rousseau, S. Brunet, C. P. Ewels*
  Catal. Sci. Technol. 14, 3021-3028 (2024)
• 2. ‘Electronic States of Carbon Materials’
  S. Latil, C. Ewels* (1st Edition: P. Lambin, J. Fink)
  Encyclopedia of Condensed Matter Physics, 2nd Edition, Elsevier, Vol. 5, 702-715 (2024)
• 3. ‘Noncontact Layer Stabilization of Azafullerene Radicals: Route toward High-Spin-Density Surfaces’
  Y. Tanuma, G. Kladnik, L. Schio, M. van Midden Mavrič, B. Anezo, E. Zupanic, G. Bavdek, R. Canton-Vitoria, L. Floreano, N. Tagmatarchis, H. A. Wegner, A. Morgante, C. P. Ewels*, D. Cvetko*, D. Arčon*, ACS Nano 17, 24, 25301-25310 (2023)
• 4. ‘Prismatic Edge Dislocations in Graphite’
  J. G. McHugh*, P. Mouratidis, A. Impellizzeri, K. Jolley, D. Erbahar, C. P. Ewels*
  Carbon, 188, 401-419 (2022)
• 5. Direct Observation and Catalytic Role of Mediator Atom in 2D Materials’
  G.-D. Lee*, A. W. Robertson*, S. Lee, Y.-C. Lin, J.-W. Oh, H. Park, Y.-C. Joo, E. Yoon, K. Suenaga, J. H. Warner, C. P. Ewels*, Science Advances, 6 (24), eaba4942 (2020)

Link HAL

Link orcid : 0000-0001-5530-9601

Link vers scholar.google.fr

https://ewels.info/

https://www.linkedin.com/in/ewels/

Contact:

Dr Chris Ewels
Institut des Matériaux de Nantes Jean Rouxel (IMN)
2 Chemin de la Houssinière
44322 Nantes
FRANCE
+33-240 37 64 07
chris.ewels \@ cnrs-imn.fr