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Maître de Conférences

Directeur de Recherche CNRS

Chargé de Recherche CNRS

Fonctions actuelles - Currently:

Since 2013: CNRS Research Scientist

Fonctions precedents / Before:

• 2010-2013: Postdoctoral Fellow / Northwestern University (USA)
• 2007-2010:  PhD / University of Rennes (France)

Ressources en ligne - Online ressources:

• ResearcherID : E-2532-2012
• ResearchGate : https://www.researchgate.net/profile/Romain_Gautier2
• Google Scholar : https://scholar.google.fr/citations?user=BiIoyN0AAAAJ&hl=en

Fonctions actuelles

• Ingénieur de recherche CNRS, PhD.
• Spécialiste de microscopie électronique en transmission (imagerie corrigée haute résolution S/TEM, spectroscopies : EDX et EELS monochromaté, diffraction électronique, tomographie…)
• Membre du comité opérationnel de la plateforme PLASSMAT (2023-…)
• Membre du comité de pilotage de la plateforme PLASSMAT (2023-2025)

Fonctions antérieures

• Responsable du MET de l’IC2MP à Poitiers (2001-2005)
• Elu au conseil de laboratoire de l’IC2MP (2002-2005)
• Elu au conseil de laboratoire de l’IMN (2012-2016)
• Correspondant IT au bureau de direction de l’IMN (2017-2019)

Qualifications
2010-2014 : Thèse de doctorat, Université de Nantes : Caractérisation d’hétérostructures polycristallines par microscopie électronique en transmission : application aux cellules solaires à base de Cu(In,Ga)Se2
1998-1999 : DESS en Analyse Microstructurale des Matériaux, Université de Poitiers
1997-1998 : Maitrise en Sciences Physiques, Université de Nantes

Projets de recherche récents ou en cours

• Projet ANR Compagnon « Composite piézo-magnétique par frittage sous champ » (2023-2027)
• Projet Européen OPINCHARGE « OPerando analyses and modelling of INterface dynamics and CHARGE transport in lithium-ion batteries » (2023-2026)
• Projet ANR Iodine-CLEAN-UP « Iode: Conditionnement de cet élément à longue durée de demi-vie dans des verres et vitrocéramiques nucléaires sous pression » (2020-2025)
• Projet ANR Acetone « La chimie sous rayonnement comme outil puissant de contrôle des propriétés des matériaux nanométriques » (2020-2024)
• Projet ANR EPCIS « Cellules Tandem Epitaxiales à Haut Rendement CIGS-Silicium » (2020-2024)

Réseaux professionnels

• Adhérent à la Société Française des Microscopies (SFµ)
• Adhérent à la Société Européenne des Microscopies (EMS)
• Adhérent au Groupe des Utilisateurs de Microscopes Philips (GUMP)

Publications

En février 2024 :

• More than 100 publications (h-index : 26 - source Web of Science)
• 2 séminaires invités / 2 oraux dans des conférences internationales / 7 posters

Publications récentes :

• Structural and property engineering of 2D titanium carbides (MXene) thin films using ion irradiation.
  BENMOUMEN, Ayoub, DAVID, Marie-Laure, GAUTRON, Eric, et al.
  Applied Surface Science, 2024, vol. 652, p. 159206.
• Radiolysis of Thin Water Ice in Electron Microscopy
  Patricia Abellan*, Eric Gautron, and Jay A. LaVerne*
  J. Phys. Chem. C 2023, 127, 31, 15336–15345
• Hexagonal Tungsten Bronze H0.25Cs0.25Nb2.5W2.5O14 as a Negative Electrode Material for Li-Ion Batteries
  Etienne Le Calvez, Julio César Espinosa-Angeles, Éric Gautron, Éric Quarez, Olivier Crosnier, and Thierry Brousse*
  Chem. Mater. 2023, 35, 8, 3162–3171
• Crystal structures, frustrated magnetism, and chemical pressure in Sr-doped Ba3NiSb2O9 perovskites.
  Melanie Viaud, Catherine Guillot-Deudon, Eric Gautron, Maria Teresa Caldes, Guido Berlanda, Philippe Deniard, Philippe Boullay, Florence Porcher, Carole La, Celine Darie, A. Zorko, A. Ozarowski, Fabrice Bert, Philippe Mendels and Christophe Payen.
  Physical Review Materials 2022, 6
• Epitaxial growth of CIGSe layers on GaP/Si(001) pseudo-substrate for tandem CIGSe/Si solar cells.
  Nicolas Barreau, Olivier Durand, Eugène Bertin, Antoine Létoublon, Charles Cornet, Polyxeni Tsoulka, Eric Gautron and Daniel Lincot.
  Sol. Energy Mater. Sol. Cells 2021, 233, 111385
• Design of metastable oxychalcogenide phases by topochemical (de)intercalation of sulfur in La2O2S2.
  Shunsuke Sasaki, Maria Teresa Caldes, Catherine Guillot-Deudon, Isabelle Braems, Gwladys Steciuk, Lukas Palatinus, Eric Gautron, Gilles Frapper, Etienne Janod, Benoit Corraze, Stephane Jobic and Laurent Cario.
  Nat Commun 2021, 12, 3605
• Toward the Coordination Fingerprint of the Edge-Sharing BO4 Tetrahedra..
  Eric Quarez, Eric Gautron, Michael Paris, David Gajan and Jean-Yves Mevellec.
  Inorg. Chem. 2021, 60, 2406-2413

Communication depuis 2019

Présentations invitées :
- « Apport de la MET à l’analyse structurale des cellules solaires à base de Cu(In,Ga)(S,Se)2 », GDR Chalco (Montpellier, 2025)
« Exemples d’applications du S/TEM Nant’Themis en sciences du vivant », journée scientifique Axe bio-imagerie de Biogenouest: La microscopie électronique en sciences de la vie, ONIRIS (Nantes, 2022)
- « Le MET Nant’Themis : premiers résultats après un an d’utilisation », séminaire invité à l’IC2MP (Poitiers, 2019)
- « Acquisitions automatisées avec SerialEM : applications en cryo-microscopie et en cristallographie électronique », séminaire interne IMN (Nantes, 2019)

Présentations :
- « Caractérisation microstructurale des cellules solaires tandem à base de CIGS/GaP/Si », Congrès de la SFµ (Rouen, 2023)

Posters :
- Congrès de la SFµ (Toulouse, 2025)
- Congrès de la SFµ (Rouen, 2023)
- Folle Journée de l’imagerie Nantaise (Nantes, 2019)
- Congrès de la SFµ (Poitiers, 2019)

Newsletters :
- European Microscopy Society Yearbook (2019)

Workshop :
- Organisation du workshop sur le Nant’Themis « Advanced Direct Detection EELS Workshop » avec la société Gatan (2019)

Inauguration/visites :
Visite de Jacques Maddaluno, Directeur de l’Institut de Chimie du CNRS et Alexandre Legris, Directeur adjoint scientifique en charge des sections 11 et 15 (2023)
- Visite d’Antoine Petit, PDG du CNRS
- Démonstration du Nant’Themis devant la ministre de l’ESR Frédérique Vidal
- Organisation de l’inauguration du Nant’Themis (2019)

Grand public :
- Organisation et animation de l’atelier « Microscopie : comment voir l’infiniment petit ? » à la « Nuit Blanche des Chercheurs » (Nantes, 2020)
- Vidéo « Nantes : La nuit blanche des chercheurs a pour thème « Preuves en images » », France3-régions (2020)
- Vidéo « NANT’THEMIS - Un microscope parmi les plus performants du monde installé à l’IMN », Nantes Université (2019)

Maître de Conférences

Fonctions :

• 2014-… Maître de conférences, Nantes Université, IMN équipe PCM (Plasma Couches Minces).
• 2013–2014 Ingénieur maturation, SATT, France, Ouest Valorisation, BatElecCir.
• 2011–2013 ATER, Université de Rennes 1, France, UFR sciences et propriétés de la matière, mention SPI, IETR, UMR6164.
• 2010–2011 ATER, Université de Rennes 1, IUT GEII, France, IETR, UMR 6164.
• 2009–2010 Postdoctorat, ENS Cachan Bretagne, France, équipe BIOMIS, SATIE, UMR 8029.

Qualifications :

• 2005–2008 Doctorat en génie électronique, Université de Rennes 1, Rennes, France.

Détection électronique par transistor à grille suspendue de marqueurs protéiques liés au métabolisme du fer.

Thèse au sein du Département de Microélectronique et Microcapteurs (D2M) de l’IETR (Institut d’Electronique et des Technologies du numéRique).

• 2002–2005 M.Sc.A : Maîtrise en Sciences Appliquées , Université de Sherbrooke, Canada.

Conception et fabrication d’un calorimétre pour cellule vivante.

Maîtrise en génie électrique, Majeure microélectronique avec projet de recherche en collaboration avec le MIT et l’université d’Auckland en Nouvelle Zélande.

• 2001–2002 Maîtrise EEA, Université de Marne-La-Vallée, France.

Maîtrise en Électronique, Électrotechnique et Automatique, Spécialités électronique, microélecronique et optronique.

• 1998–2001 ESTE, École Supérieure de Technologie Électronique, France.

Formation appartenant au groupe ESIEE, offrant en trois ans un niveau international certifié à un bachelor of engineering en électronique. Spécialités électronique et microélectronique.

Expertises :

• Les processus de gravure dans les plasmas à base de fluor (SF6, CHF3, CF4, C2F6).
• Les analyses de matériaux et de surfaces par spectroscopie de photoélectrons à rayons X.

Principales thématiques de recherche :

Ses intérêts scientifiques couvrent les aspects de fonctionnalisation et les questions récurrentes dans la gravure par plasma ainsi que le développement de processus. Actuellement, ses recherches portent sur la cryo-ALE (Cryogenic Atomic Layer Etching) et sur tous les mécanismes impliqués à l’interface plasma-surface lors de ce type de traitement.

Biographie :

Aurélie GIRARD est diplômée de l’Université de Sherbrooke, en 2005, en tant qu’ingénieur électricien spécialisé dans les biocapteurs et la microfabrication en collaboration avec l’Université d’Auckland et le MIT sur « Fabrication d’un microcalorimètre pour mesurer les propriétés thermodynamiques d’une cellule vivante ». Docteur en génie électrique de l’Université de Rennes (2008), spécialité Microélectronique liée aux biocapteurs, ses sujets de recherche, menés au cours de sa thèse et de plusieurs post-doctorats, combinent les procédés de fabrication et de caractérisation de dispositifs microélectroniques et la fonctionnalisation chimique de surface pour le greffage d’espèces biologiques : tout d’abord sur la fabrication et la fonctionnalisation électrochimique par des sels de diazonium de nanostructures et dispositifs à base de différents composés de silicium, puis sur la conception et la fabrication de multi-capteurs électrochimiques pour l’analyse de marqueurs de stockage lysosomal neurologique et d’accidents vasculaires cérébraux aigus. Ce projet a été réalisé en collaboration avec l’ENSCP. Enfin en 2014, elle a rejoint le groupe Plasmas et couches minces de l’IMN à Nantes, pour travailler en tant qu’enseignante chercheuse sur la gravure à sec de matériaux ayant des applications en microélectronique, en utilisant des plasmas réactifs RF à basse pression.

Enseignement :

Au sein de Nantes Université depuis septembre 2014, ses enseignements traitent principalement en électronique et en physique en L1, L3, M1 et M2 (formation initiale ou proposée en alternance (M2)) avec une organisation classique (cours, TD et TP) mais également sous forme de projets.

Publications :

Nombre de publications

• Plus de 25 publications dont 12 depuis 2019.
• Plus de 20 communications depuis 2019.
• Online ressource: Researchgate : http://www.researchgate.net/profile/Aurelie_Girard3

Publications majeures illustratives :

•  “An insight on plasma-surface interaction mechanisms during cryoetching in SiF4-O2, using in situ XPS”;
  C. Cardinaud, A. Girard, G. Antoun, J. Nos, T. Tillocher, R. Dussart ; Plasma Etch and Strip for Microelectronics (PESM), Louvain, Belgique, 19-23 septembre 2022.
•  “Quasi In Situ XPS on a SiOxFy Layer Deposited on Silicon by a Cryogenic Process”;
  G. Antoun, A. Girard, T. Tillocher, P. Lefaucheux, J. Faguet, K. Maekawa, C. Cardinaud and R. Dussart.; ECS J. Solid State Sci. Technol. 2022, 11, 013013.
•  “Surface composition and micromasking effect during the etching of amorphous Ge-Sb-Se thin films in SF6 and SF6 /Ar plasmas”;
  T Meyer, A. Girard, G LeDain, A. Rhallabi, E. Baudet, V. Nazabal, P. Nemec and C. Cardinaud. Appl. Surf. Sci. 2021, 549, 149192.
•  “Investigation of organic precursors and plasma mixtures allowing control of carbon passivation when etching HgCdTe in hydrocarbon-based inductively coupled plasmas”;
  J. Piet, W. Faider, A. Girard, F. Boulard and C. Cardinaud. Journal of Vacuum Science & Technology A 2020, 38, 053005.

Lien LinkedIn :https://www.linkedin.com/in/aurelie-girard-5916091b/

Professeur des Universités

Fonctions :

Enseignant chercheur à Polytech Nantes, Directeur adjoint recherche du pôle Sciences et Technologies de Nantes Université

Qualifications :

Professeur des Universités, CE1, 63 CNU

Expertises :

• Procédé de dépôt PECVD de matériaux diélectriques oxydes en couches minces.
• Couches minces Nanocomposites.
• Ellipsométrie UV-Visible et spectroscopies optiques.
• Technologies de composants en couches minces.

Principales thématiques de recherche :

• Développement de procédés hybrides innovants associant plasma (PECVD) basse pression et injection de solutions colloïdales pour le dépôt de matériaux nanocomposites
• Propriétés optiques, électriques et catalytiques de nanocomposites oxydes (TiO2(NPs)/SiO2 (Matrice) ; ZnO (NP)/SiO2(matrice) ; FeOy (NPs)/ TiO2 (matrice),….) : de la dispersion du nano-objet aux propriétés multifonctionnelles

Projets de recherche en cours :

• Projet ANR ADN : Advanced Dielectric Nanocomposite thin films processed by hybrid aerosol / low pressure plasma for microelectronic capacitor applications (2025-2028), en collaboration avec LAPLACE de Toulouse
• Participation à l’encadrement de la thèse de Sarah Hekking en collaboration avec L’université de Montréal (Pr Luc Stafford) et l’IRN-CNRS Nanomatériaux Multifonctionnels Contrôlés
• Couches minces nanocomposites incluant des nanoparticules Fe2O3 dans une matrice TiO2, produites par un processus de dépôt hybride combinant plasma et injection de solution

Activités dans la communauté de recherche :

Membre du GDRI –IRN Nanomatériaux Multifonctionnels Contrôlés

Biographie :

Antoine Goullet est professeur des universités (classe exceptionnelle) à Nantes Université, et membre de l’Institut des Matériaux Jean Rouxel de Nantes (IMN – UMR 6502). Ses travaux de recherche actuels portent principalement sur la synthèse et l’étude des propriétés optiques et électriques de couches minces diélectriques nanocomposites. Ces matériaux sont élaborés par des procédés hybrides innovants, associant l’injection de solutions colloïdales à des dépôts en phase vapeur assistés par plasma (PECVD), opérant à basse pression et basse température. Il est auteur ou co-auteur de plus de 80 publications scientifiques dans des revues internationales. Il a dirigé ou co-dirigé 10 thèses de doctorat soutenues, et encadré trois chercheurs en contrat post-doctoral. Responsable scientifique de plusieurs projets financés par l’ANR, il a également coordonné un projet européen (PHC) et participé à plus de 60 jurys de thèse. Après avoir exercé la fonction de directeur de la recherche de Polytech Nantes (2016–2021), il est depuis janvier 2022 directeur adjoint du pôle Sciences et Technologie de Nantes Université, en charge des questions de recherche.

Enseignement :

En cycle ingénieur à Polytech Nantes dans le département Electronique et Technologies Numériques (ETN) et dans le cycle préparatoire PEIP D à Polytech Nantes, adossé à la formation BUT GEII de l’IUT de Nantes

• Physique des Semiconducteurs (C/TD/TP),
• Microélectronique (C/TD/TP),
• Physique et Technologie (C/TD/TP),
• Suivi de projets ingénieur avec clients industriel,
• Tutorat pédagogique d’apprentis,

A l’interface avec Sciences Humaines et Sociales et ETN :

• Réseau professionnel
• Développement Durable et Responsabilités Sociétales

Publications :

Plus de 80

Publications majeures illustratives :

• Nanoscale dielectric properties of TiO2 in SiO2 nanocomposite deposited by hybrid PECVD method
  C. Villeneuve-Faure, M. Mitronika, A. P. Dan, L Boudou, W. Ravisy, M.P. Besland, M.. Richard-Plouet and A. Goullet
  Nano Express 5 (2024) 5, 015010; DOI 10.1088/2632-959X/ad220d
• Kinetics driving nanocomposite thin-film deposition in low-pressure misty plasma processes
  S. Chouteau, M. Mitronika, A. Goullet, M. Richard-Plouet, L. Stafford, A. Granier
  J. Phys. D: Appl. Phys. (2022) 55, 505303 ; DOI 10.1088/1361-6463/ac9ac2
• Unveiling a critical thickness in photocatalytic TiO2 thin films grown by plasma-enhanced chemical vapor deposition using real time in situ spectroscopic ellipsometry
  W. Ravisy, M. Richard-Plouet, B. Dey, S. Bulou, P. Choquet, A. Granier and A. Goullet
  J. Phys. D: Appl. Phys. (2021) 54, 445303 ; DOI 10.1088/1361-6463/ac1ec1
• In situ spectroscopic ellipsometry study of TiO2 films deposited by plasma enhanced chemical vapour deposition
  D. Li, M. Carette, A. Granier, J.P. Landesman, A. Goullet
  Appl. Surf. Sc. (2013) 283, 234 ; DOI 10.1016/j.apsusc.2013.06.091
• Optical spectroscopic analyses of OH incorporation into SiO2 films deposited from O2/TEOS plasmas
  A. Goullet, C. Vallée, A. Granier and G. Turban
  J. Vac. Sci. Technol. A (2000) 18, 2452; DOI 10.1116/1.1287152

Lien vers orcid : https://orcid.org/my-orcid?orcid=0000-0001-5411-4351

Lien vers scholar.google.fr : https://scholar.google.com/citations?user=8xWSg2wAAAAJ&hl=fr&oi=ao

Lien LinkedIn :https://www.linkedin.com/in/antoine-goullet-b1663110/

Directrice de Recherche

Fonctions :

Directrice de recherche CNRS (DR1) à l’IMN (80%) et Déléguée scientifique  » plasmas  » à CNRS Ingénierie (20%)

Expertises :

Procédés plasmas froids basse pression, dépôt de couches minces par PECVD à partir de précurseurs organométalliques, diagnostics des plasmas (OES, sonde de Langmuir, spectrométrie de masse).

Principales thématiques de recherche : 

•  dépôt de couches minces à propriétés diélectriques, optiques, photocatalytiques, barrière (SiO2, SiOCH, TiO2) par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD)
• dépôt de couches minces nanocomposites multifonctionnelles par injection de solutions colloidales dans un plasma basse pression (TiO2:SiO2, ZnO:SiO2…)
• étude des mécanismes d’interactions plasma/surface
• étude globale des procédés plasmas de synthèse de nanomatériaux et dépôt de couches minces

Projets de recherche en cours :

• Dépôt de couches minces nanocomposites en plasma brumeux, par procédé hybride : injection d’une solution colloidale dans un plasma basse pression.
• Couches minces nanocomposites formées de nanoparticules d’oxyde de fer dans une matrice de TiO2 (en collaboration avec UdM, Montréal)
• Couches minces nanocomposites formées de nanoparticules de TiO2 dans une matrice de SiO2, propriétés diélectriques (projet ANR ADN, 2025-2028)

Activités dans la communauté de recherche :

• Membre du CA de la Société Française du Vide
• Membre du réseau Plasmas Froids et du GDR EMILI

Biographie

• 2013-2021 : Directrice adjointe de l’IMN
• 2017-2020 : Membre du Comité d’évaluation CE08 de l’Agence Nationale de la Recherche
• 2012-2016 : Membre nommée du Comité National de la Recherche Scientifique, section10
• 2005-2012 : Responsable de l’équipe Plasmas et Couches Minces de l’IMN (25-30 personnes)
• 2012-2015 : Membre du Conseil de l’Ecole Doctorale 3MPL (Molécules, Matières et Matériaux en Pays de Loire)
• 2008-2011 : Membre du Comité d’évaluation de l’ANR non thématique (CSD2 puis SIMI9)
• 2004-2006 : Animatrice du Réseau Plasmas Froids de la MRCT (CNRS) (400 membres)
• 2001-2003 : Chargée de mission au Département SPI (Sciences pour l’Ingénieur) du CNRS
• 1998-2005 : Responsable de l’équipe PECVD du Laboratoire Plasmas Couches Minces de l’IMN
• 1994-1997 : Directrice du GDR « Procédés de dépôt de couches minces à partir de plasmas d’organosiliciés« 
• 1986-1992 : Chargée de recherche (CR2 de 1986 à 1990, puis CR1) au Laboratoire de Physique des Gaz et des Plasmas (Orsay)