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Maître de Conférences

Professeur des Universités

Fonction : 

Professeur des universités 1ère classe, 63ème section CNU

Expertises :

• Expert dans le domaine de la modélisation des procédés plasmas froids pour le dépôt et la gravure des couches minces.
• Expert dans le domaine de la physique des semi-conducteurs et de la microélectronique.
• Expert dans le domaine des méthodes numériques pour la physique.

Principale thématique de recherche :

Modélisation des phénomènes d’interactions plasmas surfaces pour la gravure et le dépôt des couches minces : développement d’approches multi-échelles

Projets de recherche en cours :

• Approche multi-échelle pour la modélisation de la gravure de GaN par le procédé Atomic Layer Etching (ALE) en collaboration avec ST Microelectronics.
• Modélisation multi-échelle du plasma en pulvérisation magnétron à impulsions de haute puissance (HiPIMS)
• Modélisation et conception d’un capteur intelligent de gaz à base d’oxydes de métaux déposés par procédé PVD

Activités dans la communauté de recherche :

• Responsable adjoint de l’équipe Plasmas et Couches Minces.
• Membre élu du conseil scientifique de l’IMN
• Membre élu du conseil scientifique de l’UFR Sciences
• Membre du conseil de département de physique

Biographie :

Je suis titulaire d’un DEA en Instrumentation et Mesures, obtenu en 1988 à l’Université Joseph Fourier de Grenoble. En 1992, j’ai soutenu une thèse de doctorat en Sciences des Matériaux, spécialité microélectronique, à l’Université de Nantes. En 1993, j’ai été nommé Maître de conférences à l’IRESTE (aujourd’hui Polytech Nantes), puis promu Professeur des Universités en 2007 au sein du département de physique de la Faculté des Sciences et Techniques de Nantes Université. J’assure actuellement la responsabilité du Master Electronique, Énergie Électrique, Automatique (EEA). Mes enseignements couvrent plusieurs domaines clés : l’électronique analogique, les semi-conducteurs, la microélectronique, la nanoélectronique, la modélisation numérique, ainsi que les procédés de fabrication des circuits intégrés.

Sur le plan de la recherche, je suis rattaché à l’Institut des Matériaux de Nantes Jean Rouxel (IMN) depuis 1989. J’y exerce les fonctions de responsable adjoint de l’équipe Plasmas et Couches Minces (PCM). Avec mes doctorants, nous avons développé des modèles et algorithmes innovants pour la modélisation des décharges plasmas et de leurs interactions avec les surfaces gravées. Ces travaux incluent notamment la méthode globale pour la description de la cinétique des plasmas, ainsi que la méthode cellulaire Monte-Carlo permettant de simuler les interactions plasma-surface dans les procédés de gravure à l’échelle micro- et nanométrique. Cet ensemble de codes a permis de structurer une approche multi-échelle innovante pour la gravure des matériaux aux échelles micronique, nanométrique et atomique.

Enseignement :

• Enseignements sous forme de cours de TD et TP autour de la physique des semiconducteurs, de l’électronique analogique, de la microélectronique, des technologies de fabrication des circuits intégrés, de la CAO et CTAO électronique et de la modélisation physique.
• Responsable du Master mention EEA (1 parcours commun Master1 et 3 spécialités en Master2)
• Responsable du parcours M2 Capteurs Intelligents et qualité des Systèmes Electroniques
• Des cours à l’étranger
• Mise à la disposition des étudiants des enregistrements vidéos de cours
• Encadrement de 18 TER M1 Electronique (2 mois par TER) (2007-2016)
• Encadrement de 21 projets pédagogiques en M2 CEO et M2 CISE (3 mois par projets) (10 depuis 2017)
• Mise en place de plusieurs projets pédagogiques (Exemple : station météo autonome installée au campus de l’UFR Sciences et développement d’une calèche électrique à partir de deux vélos récupérés dans une approche écoconception (en cours).

Publications :

• 61 revues internationales avec comité de lecture
• 103 conférences internationales
• 42 conférences nationales
• 16 conférences invitées
• 12 séminaires en France et à l’étranger
• 20 rapports de contrats
• 1 chapitre d’ouvrage

Publications majeures illustratives :

• T.Rasoanarivo, C.Mannequin, F.Roqueta, M.Boufnichel, and A. Rhallabi,Dynamic global model of Cl2/Ar plasmas: applicability to Atomic Layer Etching processes, J. Vac. Sci. Technol. A 42, 063003 (2024).
• G. Le Dain, A. Rhallabi, C. Cardinaud, A. Girard, M.C. Fernandez, M. Boufnichel, F. Roqueta, Modeling of silicon etching using Bosch process : Effects of oxygen addition on the plasma and surface properties, J. Vac. Sci. Technol. A36, 03E109 1-11 (2018).
• J. Zgheib, P-Y. Jouan, A. Rhallabi, High Power Impulse Magnetron Sputtering global model for argon plasma chromium target interactions, J. Vac. Sci. Technol. A 39, 043004 (2021).
• M. Cosson, B. David, L. Arzel, P. Poizot, A. Rhallabi, Modelling of electrochemical storage and photovoltaic production in an autonomous solar drone, eScience,  2, 235-241 (2022).
• Réalisation d’un simulateur de gravure profonde de silicium par procédé Bosch avec une interface conviviale

Lien vers orcid : https://orcid.org/0000-0003-0855-9995

Lien LinkedIn : https://www.linkedin.com/in/ahmed-rhallabi-8562992a/

Directrice de Recherche CNRS

Fonctions : 

• Since 2019: Head of PCM group
• Since 2018: Directrice de recherche CNRS at the Institut des Matériaux de Nantes Jean Rouxel, in the Plasma and Thin films group, PCM
• 2017-2018: Chargé de recherche CNRS at the Institut des Matériaux Jean Rouxel, in Nantes in the Plasma and Thin films group, PCM
• 2003-2017: Chargé de recherche CNRS at the Institut des Matériaux Jean Rouxel, in Nantes in the CESES group
• 1995-2002: Chargé de recherché CNRS at the Institut de Physique et Chimie des Matériaux de Strasbourg, in the Groupe des Matériaux Inorganiques
• 1994-1995: Post-doctoral researcher at the Laboratoire de Recherche sur les tissus calcifiés. « Caractérisation de matériaux de substitution osseux, avant et après implantation chez l’animal, par diffraction électronique et microscopie électronique à transmission »

Qualifications :

• 2011: habilitation à diriger des recherches
• 1994: PhD university of Nantes, “Synthèse, caractérisation et échange acido-basique de perovskites feuilletées: A2Ln2Ti3O10 (A=Na, K, Ln=Y, La, Nd). » Supervised by Dr Luc Brohan at the Institut des Matériaux de Nantes.

Expertises :

• Synthesis of thin films coupling chemistry in solution and Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition
• Characterisations of nanostructured solids and thin films by XPS, vibrational spectroscopies, X-Rays diffraction, Transmission Electron Microscopy

Principales thématiques de recherche :

• Nanocomposite thin films by coupling chemistry in solution and Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition
• Transition metal oxides by chimie douce (soft chemistry) and plasma for photo-induced applications, opto-electronic applications

Projets de recherche en cours : 

Involved in 2 to 3 projects per year as partner or responsible

Activités dans la communauté de recherche : 

• Co- and supervision of 25 doctors since 1998
• Involvement in ANR (National Agency of Research) projects with industrial partnership
• Since 2020: Member of the scientific committee of the Research Federation FR 2050 Photoelectron spectroscopy
• Member of the scientific committee of the Group of Research, GDR HPero (2017-2022)
• Member of the Committee for Electron Spectroscopies representing the Nord-West part of France since 2016
• Since 2022, member of the steering committee of the French-Canadian International Research Network dedicated to Controlled Multifunctional Nanomaterials
• Member of the local committee in Nantes, at the Ecole Doctorale ED3PML, the ED3M and finally ED 3 MG, including pre-examination for the Habilitation à Diriger des Recherches since 2015

Biographie :

Mireille Richard-Plouet is a French researcher in the field of inorganic materials and nanomaterials. She obtained her PhD from the University of Nantes in 1994, with a thesis on the synthesis and characterization of layered perovskites, under the supervision of Dr Luc Brohan. After a post-doctoral position, at the Laboratoire de Recherche sur les Tissus Calcifiés (1994-1995), she joined the CNRS as a full-time researcher at the Institut de Physique et Chimie des Matériaux de Strasbourg (1995-2002), where she studied low-dimensional magnetic materials and developed sol-gel and hydrothermal syntheses. In 2003, she joined the Institut des Matériaux Jean Rouxel (IMN) in Nantes, where she was promoted to research director in 2018 and took over as head of the « Plasma and Thin Films » group in 2019. Her work focuses on nanocomposite thin films, transition metal oxides for optoelectronic applications, and advanced characterization of nanostructured solids using techniques such as XPS spectroscopy, X-ray diffraction and transmission electron microscopy.

Winner of the CNRS Bronze Medal in 2000, she has supervised over 20 PhD students since 1998 and published 113 scientific papers.

Involved in the scientific community, she plays an active part in national and industrial research projects, and sits on several scientific committees, including that of the FR 2050 research federation on photoemission spectroscopy, and the steering committee of the Franco-Canadian research network dedicated to Controlled Multifunctional Nanomaterials.

Fonction :

Doctorant

Principales thématiques de recherche :

Dépôt PVD, procédés HiPIMS et e-HIPIMS, couches minces, micro-supercondensateurs

Projet de recherche en cours :

Doctorat portant sur le dépôt d’électrodes en couches minces par pulvérisation magnétron en régime d’impulsions de haute puissance (HiPIMS) pour la réalisation de micro-supercondensateurs 3D

Activités dans la communauté de recherche :

Secrétaire de l’association de doctorants SYRA de l’IMN

Biographie : 

Titulaire d’un Master en Matériaux Innovants et Systèmes Énergétiques, j’ai réalisé mon stage de fin d’études chez STMicroelectronics à Tours, où j’ai travaillé sur l’optimisation d’un procédé de gravure pour des capacités TaN/SiN/TaN. Actuellement doctorant à l’Institut des Matériaux Jean Rouxel au sein de l’équipe PCM, mes travaux portent sur le développement d’électrodes pour micro-supercondensateurs 3D, à l’aide des techniques de dépôt par pulvérisation cathodique impulsionnelle à haute puissance (HiPIMS) et sa variante enrichie l’e-HiPIMS. L’objectif de cette thèse est d’optimiser la structuration, la conformité et les performances électrochimiques des électrodes (TiN, VN/VOxNy) sur substrats 3D pour répondre aux besoins en stockage d’énergie à haute densité dans les systèmes miniaturisés.

Lien vers orcid : https://orcid.org/0009-0004-5564-3959

Lien LinkedIn : https://www.linkedin.com/in/l%C3%A9o-seigneur-32525a223/

Professeur des Universités émérite

Fonction : 

Doctorant en science des matériaux sous la direction de Marie-Paule Besland

Qualifications :

• Master en science et génie des Matériaux avancés (2023)
• Diplôme d’ingénieur en Génie des Matériaux (2021)
• DEUG en science de la matière chimie (2018)

Expertises :

• Technique de caractérisations des matériaux (Microscopie électronique à balayage, diffraction des rayons X, Spectroscopie Raman, Microscopie à Force atomique, Focused Ion Beam (FIB) pour la préparation des échantillons.
• Dépôt des couches minces
• Technique de caractérisations électrochimiques
• Micro-batteries
• Cellules photovoltaïques

Principale thématique de recherche :

Dépôt des couches minces par pulvérisation cathodique pour applications comme électrode dans les micro batteries de puissance.

Projet de recherche en cours :

Elaboration des couches de structures pérovskites par pulvérisation cathodique pour applications comme électrode dans les micro batteries de puissance.

Biographie :

Je travaille actuellement sur le dépôt de couches minces par co-sputtering magnétron dans le cadre du développement de dispositifs de stockage d’énergie, en particulier des micro-batteries et supercondensateurs.

Enseignement :

TP de caractérisations des matériaux